臺式掃描電鏡由三大部分組合而成：空氣壓縮操作系統(tǒng)，離子束操作系統(tǒng)及其三維成像操作系統(tǒng)。詳細了解臺式掃描電鏡的組合而成結(jié)構(gòu)特征，更加有利于科學(xué)合理的使用掃描電鏡，因此增加掃描電鏡的使用期限及提升實際操作的準確度。
　　臺式掃描電鏡設(shè)計方案情況
　　伴隨著科技研究與工業(yè)化生產(chǎn)進入了納米技術(shù)各個領(lǐng)域，大家對顯微技術(shù)應(yīng)用、顯微儀器設(shè)備的標準變得越來越高，需求也不斷增加。
　　光學(xué)顯微鏡價格低，實際操作比較簡單，但考慮到可見光波長的限制，其擴大倍率只可以做到1000倍前后;過去大中型掃描電子顯微鏡合理有效擴大倍率能夠做到數(shù)萬倍，有著大景深，是現(xiàn)階段材料物理、生物技術(shù)專業(yè)各個領(lǐng)域相對比較常用的特征方式的一種，但其項目投資較大，并且需要通過嚴格要求專業(yè)培訓(xùn)的操作工作人員，使用不方便。

　　掃描電鏡的結(jié)構(gòu)特征
　　臺式掃描電鏡空氣壓縮操作系統(tǒng)主要包括進口真空泵和真空環(huán)境兩部份。真空環(huán)境是一個密閉的柱形玻璃容器。進口真空泵適用于在真空環(huán)境柱內(nèi)造成真空環(huán)境。
　　三維成像操作系統(tǒng)和離子束操作系統(tǒng)均內(nèi)置在真空環(huán)境柱中。真空環(huán)境柱底端為密閉室，適用于置放樣品。之所以能夠要用真空環(huán)境，主要適用于以下兩點根本原因：離子束操作系統(tǒng)中的燈絲在一般大氣中會快速氧化而不起作用，因此除了在使用臺式掃描電鏡時需要用真空環(huán)境之外，平常還需要以純氮氣或稀有氣體充滿全部真空環(huán)境柱。